工业废气由管道经过防爆装置进入降压段,降低风速后进入等离子段,《等离子体是不同气态、固态、液态的第四态物质,由高能电子、正负离子、自由基(0H、H、0、03,等)和中性粒子等组成。等离子分为平衡等离子和非平衡等离子,低温等离子体主要由气体放电产生的气体经过等离子气体净化装置的反应器区域时,等离子体中的活性自由基可以有效的破坏各种病毒、细菌中的核酸,蛋白质,使其不能进行正常的代谢和生物合成,从而导致其死亡。在高能电子和自由基强氧化等多重作用下,气体中的有机物分子链被断开,发生一系列复杂的氧化还原反应,生成CO2.H20等无害物质,正负离子可以清新空气。另外,借助等离子体中的离子与物体的凝并作用,可以对小至亚微米级的细微颗粒物(0.1-3微米)进行有效的收集。